سنسور وکیوم یا گیج خلأ ابزاری تخصصی است که برای اندازهگیری، مانیتورینگ و کنترل فشار در شرایط خلأ مورد استفاده قرار میگیرد. در بسیاری از صنایع و آزمایشگاهها، دانستن میزان دقیق فشار خلأ اهمیت حیاتی دارد؛ چرا که حتی تغییرات کوچک در فشار میتواند عملکرد تجهیزات یا کیفیت محصول را تحت تأثیر قرار دهد.
این سنسورها بسته به نوع فناوری بهکاررفته، قادرند فشار را در بازههای بسیار گسترده، از خلأ نسبی (Partial Vacuum) تا اولتراهایوکیوم (UHV)، با دقت و تکرارپذیری بالا اندازهگیری کنند.
انتخاب نوع سنسور وکیوم به عواملی مانند محدوده فشار قابلاندازهگیری، میزان دقت مورد انتظار، نوع فرآیند صنعتی یا تحقیقاتی، و سازگاری با محیط کاری بستگی دارد. به همین دلیل مدلهای متنوعی از جمله پیرانی، کاتد سرد، کاتد گرم، خازنی و واید رنج طراحی شدهاند تا هر کدام پاسخگوی نیازهای خاص در کاربردهای گوناگون باشند.
| نوع سنسور | واحدهای اندازهگیری معمول | محدوده فشار قابل اندازهگیری | دقت تقریبی | ویژگی کلیدی |
|---|---|---|---|---|
| پیرانی | mbar، Pa | 10⁻³ mbar تا 1000 mbar | 10–20% | وابسته به نوع گاز/ ارزان و پرکاربرد |
| کاتد سرد | mbar، Pa | 10⁻⁹ mbar تا ²⁻10 mbar | حدود یک دهم | بدون فیلامان، دوام بالا، نیاز به فشار شروع پایین |
| کاتد گرم | mbar، Pa | 10⁻¹⁰ mbar تا³⁻10 mbar | 10–30% | حساس و دقیق، اما عمر فیلامان محدود |
| خازنی | mbar، Torr، Pa | 10⁻⁵ mbar تا 1000 mbar | تا 0.1% FS | مستقل از نوع گاز، بسیار دقیق |
| واید رنج | mbar، Pa | 10⁻⁹ mbar تا 1000 mbar | وابسته به ترکیب سنسورها | ترکیب چند فناوری، پوشش رنج وسیع |