شیرآلات وکیوم اجزایی کلیدی در هر سیستم خلأ هستند که وظیفهی کنترل، قطع و وصل و تنظیم جریان گاز را برعهده دارند. بسته به طراحی و محرک، این شیرها میتوانند در شرایط مختلف از خلأ پایین (Rough Vacuum) تا خلأ فوقبالا (UHV) بهکار روند. شیرهای وکیوم ارائه شده در وکشاپ از برندهای وارداتی، استاندارد و با کیفیت می باشند که هر کدام ویژگی خاص خود را دارند. انتخاب نوع شیر به عواملی مثل محدوده فشار کاری، سرعت پاسخگویی، دمای فرآیند و نوع اتصال (KF، ISO، CF) بستگی دارد.
بر اساس روش عملکرد؛ شیرهای وکیوم در چهار گروه اصلی قرار میگیرند:
شیرهای دستی: مناسب برای کاربردهای عمومی و آزمایشگاهی، با هزینه اقتصادی.
شیرهای برقی: انتخابی ایدهآل برای اتوماسیون و کنترل سریع فرآیند.
شیرهای بادی–برقی: ترکیبی از فرمان الکتریکی و عملگر پنوماتیکی، با سرعت پاسخ بالا در خطوط تولید.
شیرهای بیلوز: تخصصیترین نوع شیرها با آببندی فلزی (Metal Bellows) که بالاترین سطح ایمنی و اطمینان را در شرایط UHV و صنایع حساس تضمین میکنند.
در این طراحی، مکانیزم آببندی توسط بیلوز فلزی (Metal Bellows) انجام میشود که امکان نشتی به حداقل میرسد. به همین دلیل در سیستمهای High Vacuum و Ultra High Vacuum (UHV) کاربرد گسترده دارند.
شیر زاویهای بیلوز (Bellows Angle Valve): پرکاربردترین مدل برای خطوط اصلی و جانبی.
شیر گیت بیلوز (Bellows Gate Valve): مناسب مسیرهای اصلی و قطر بزرگ، بهویژه در چمبرها.
شیر مستقیم بیلوز (Bellows Inline Valve): برای مسیرهای مستقیم و خطوط انتقال.
شیر پنوماتیکی بیلوز (Bellows Pneumatic Valve): ترکیب طراحی بیلوز با عملگر پنوماتیک، مناسب خطوط پرکار و اتوماسیون.
در این شیرها فرمان بهصورت الکتریکی داده میشود اما عملگر اصلی پنوماتیک است. این ترکیب باعث سرعت عملکرد بسیار بالا میشود.
شیر گیت پنوماتیکی: رایج در سیستمهای نیمههادی و UHV.
شیر زاویهای پنوماتیکی: مناسب خطوط پرکار.
شیر پروانهای پنوماتیکی: اقتصادی و سریع برای قطرهای بالا.
شیر قطع سریع پنوماتیکی: برای حفاظت از پمپها و چمبرها.
... ,VAT, Pfeiffer ,Leybold
این شیرها با محرک برقی یا سلونوئید باز و بسته میشوند و بیشتر در خطوط اتوماسیون صنعتی کاربرد دارند.
شیر سلونوئیدی قطع سریع: مناسب شرایط اضطراری.
شیر زاویهای برقی: برای باز و بستهکردن اتوماتیک.
در کاربردهای عمومی و آزمایشگاهی استفاده میشوند که کاربر بهصورت دستی جریان را کنترل میکند.
شیر زاویهای دستی: رایج برای خطوط KF و ISO.
شیر گیت دستی: مناسب مسیرهای اصلی و قطرهای بزرگ.
شیر پروانهای دستی: انتخابی اقتصادی برای قطع/وصل سریع.
شیر سوزنی دستی: برای کنترل دقیق و ظریف جریان گاز.
| ویژگی | مقدار | مقدار | مقدار | مقدار |
|---|---|---|---|---|
| نوع شیر | Angle Valve | Gate Valve | Inline Valve | Pneumatic Valve |
| محدوده فشار کاری | mbar1×10⁻⁹ up to 2,000 mbar | mbar1×10⁻¹⁰ up to 1,000 mbar | mbar1×10⁻⁹ up to 2,000 mbar | mbar1×10⁻⁹ up to 1,500 mbar |
| سایز فلنج | DN 16 up to DN 50 (ISO-KF / ISO-F) | DN 63 up to DN 400 (ISO-F, CF) | DN 16 up to DN 40 (KF, ISO) | DN 16 up to DN 100 (KF, ISO) |
| جنس بدنه | استنلس استیل یا آلومینیوم | استنلس استیل (304/316) | استنلس استیل | استنلس استیل یا آلومینیوم |
| جنس بیلوز | استنلس استیل | استنلس استیل | استنلس استیل | استنلس استیل |
| نوع آب بندی | بیلوز فلزی + O-Ring Viton | بیلوز فلزی + O-Ring Viton | بیلوز فلزی + O-Ring Viton | بیلوز فلزی + O-Ring Viton |
| نوع عملگر | دستی / الکتروپنوماتیک / سلونوئید | دستی / پنوماتیکی / موتوردار | دستی / پنوماتیک | پنوماتیک (هوای فشرده 4–6 bar) |
| ساختار شیر | زاویهای (Right-Angle) | Gate (کشویی) | Inline (Straight-through) | زاویهای یا مستقیم |
| دمای کار | 0°C up to +150°C | 20°C up to +150°C- | 0°C up to +120°C | 0°C up to +120°C |
| میزان نشتی | mbar ≤ 1×10⁻⁹ mbar·l/s | mbar ≤ 1×10⁻¹⁰ mbar·l/s | mbar ≤ 1×10⁻⁹ mbar·l/s | mbar ≤ 1×10⁻⁹ mbar·l/s |
| وزن | 0.7up to 3.5 kg | 8up to 60 kg | 0.8up to 2.5 kg | 1.2up to 6 kg |
| زمان باز/بسته شدن | 1-2s | 3-10s (بسته به سایز) | 1-2s | 50-150ms (خیلی سریع) |
| طول عمر بیلوز | 10⁵×1≤ سیکل | 10⁶×1≤ سیکل | 10⁵×1≤ سیکل | 10⁵×5≤ سیکل |
| فشار تفاضلی (Δp) | باز: 0.1bar≥ / بسته: 1bar≥ | باز: 0.1bar≥ / بسته: 1bar≥ | باز: 0.1bar≥ / بسته: 1bar≥ | باز: 0.1bar≥ / بسته: 1bar≥ |
| استاندارد | ISO-KF, ISO-F, CE, RoHS | ISO-F, CF, SEMI S2, CE | ISO-KF, ISO-F, CE | ISO-KF, ISO-F, CE |
| ویژگی | مقدار | مقدار | مقدار | مقدار |
|---|---|---|---|---|
| نوع شیر | Pneumatic Gate Valve | Pneumatic Angle HD Valve | Pneumatic Butterfly Valve | Pneumatic Fast-Acting Valve |
| محدوده فشار کاری | mbar1×10⁻¹⁰ up to 1,000 mbar | mbar1×10⁻⁹ up to 1,500 mbar | mbar1×10⁻⁷ up to 1,500 mbar | mbar1×10⁻⁹ up to 1,000 mbar |
| سایز فلنج | DN 63 up to DN 400 (ISO-F, CF) | DN 16 up to DN 100 (KF, ISO) | DN 63 up to DN 250 (ISO) | DN 16 up to DN 100 (KF, ISO) |
| جنس بدنه | استنلس استیل | استنلس استیل یا آلومینیوم | آلومینیوم یا استیل | استنلس استیل یا آلومینیوم |
| جنس بیلوز | بیلوز فلزی جوشکاریشده | بیلوز فلزی + Viton O-Ring | O-Ring Viton / FKM | بیلوز فلزی + Viton O-Ring |
| نوع آب بندی | Metal Seal + O-Ring Viton | بیلوز فلزی | Elastomer Seal | Metal Bellows / O-Ring |
| نوع عملگر | پنوماتیک (4–6 bar) | پنوماتیک (4–6 bar) | پنوماتیک (Actuator با فرمان برقی) | پنوماتیک با سلونوئید سریع |
| ساختار شیر | Gate (کشویی) | زاویهای (Right-Angle) | پروانهای (Butterfly Disc) | Fast-Acting (زاویهای یا خطی) |
| دمای کار | 20°C up to +150°C- | 0°C up to +120°C | 0°C up to +120°C | 0°C up to +120°C |
| میزان نشتی | mbar ≤ 1×10⁻¹⁰ mbar·l/s | mbar ≤ 1×10⁻⁹ mbar·l/s | mbar ≤ 1×10⁻⁷ mbar·l/s | mbar ≤ 1×10⁻⁹ mbar·l/s |
| وزن | 10up to 60 kg | 2up to 8 kg | 1up to 10 kg | 2up to 6 kg |
| زمان باز/بسته شدن | 1-5s | 80-200ms | 100ms≥ | 20-50ms |
| طول عمر بیلوز | 10⁶×1≤ سیکل | 10⁵×5≤ سیکل | 10⁵×2≤ سیکل | 10⁶×1≤ سیکل |
| فشار تفاضلی (Δp) | باز: 0.1bar≥ / بسته: 1bar≥ | باز: 0.1bar≥ / بسته: 1bar≥ | باز: 0.2bar≥ / بسته: 1bar≥ | باز: 0.1bar≥ / بسته: 1bar≥ |
| استاندارد | ISO-F, CF, SEMI S2, CE | ISO-KF, ISO-F, CE | ISO-F, CE | ISO-KF, ISO-F, SEMI, CE |
| ویژگی | مقدار | مقدار | مقدار | مقدار |
|---|---|---|---|---|
| نوع شیر | Solenoid Fast-Acting Valve | Motorized Angle Valve | Motorized Butterfly Valve | Motorized Globe Valve |
| محدوده فشار کاری | mbar1×10⁻⁹ up to 1,000 mbar | mbar1×10⁻⁹ up to 1,500 mbar | mbar1×10⁻⁷ up to 1,500 mbar | mbar1×10⁻⁹ up to 1,500 mbar |
| سایز فلنج | DN 16 up to DN 40 (KF, ISO) | DN 16 up to DN 100 (KF, ISO) | DN 63 up to DN 250 (ISO) | DN 16 up to DN 80 (KF, ISO) |
| جنس بدنه | استنلس استیل یا آلومینیوم | استنلس استیل یا آلومینیوم | آلومینیوم یا استیل | استنلس استیل |
| جنس بیلوز | O-Ring Viton یا FKM | بیلوز فلزی + Viton O-Ring | O-Ring Viton یا FKM | بیلوز فلزی + Viton O-Ring |
| نوع آب بندی | Metal-to-Metal یا O-Ring | Metal Bellows / O-Ring | Elastomer Seal | Metal Bellows / O-Ring |
| نوع عملگر | سلونوئید (24V DC / 230V AC) | موتور برقی (Stepper/Servo Motor) | موتور برقی (Stepper/Servo) | موتور برقی (Stepper یا Servo) |
| ساختار شیر | Fast-Acting (زاویهای یا خطی) | زاویهای (Right-Angle) | پروانهای (Butterfly Disc) | Globe (کنترل دقیق جریان) |
| دمای کار | 0°C up to +120°C | 0°C up to +120°C | 0°C up to +120°C | 0°C up to +120°C |
| میزان نشتی | mbar ≤ 1×10⁻⁹ mbar·l/s | mbar ≤ 1×10⁻⁹ mbar·l/s | mbar ≤ 1×10⁻⁷ mbar·l/s | mbar ≤ 1×10⁻⁹ mbar·l/s |
| وزن | 0.8up to 3 kg | 1.5up to 6 kg | 2up to 15 kg | 1up to 5 kg |
| زمان باز/بسته شدن | 10-30ms | 0.5-2s | 1-3s | 1-5s |
| طول عمر بیلوز | 10⁶×1≤ سیکل | 10⁵×2≤ سیکل | 10⁵×2≤ سیکل | 10⁵×2≤ سیکل |
| فشار تفاضلی (Δp) | باز: 0.1bar≥ / بسته: 1bar≥ | باز: 0.2bar≥ / بسته: 1bar≥ | باز: 0.2bar≥ / بسته: 1bar≥ | باز: 0.1bar≥ / بسته: 1bar≥ |
| استاندارد | ISO-KF, ISO-F, CE, RoHS | ISO-KF, ISO-F, CE | ISO-F, CE | ISO-KF, ISO-F, CE |
| ویژگی | مقدار | مقدار | مقدار | مقدار | مقدار |
|---|---|---|---|---|---|
| نوع شیر | Manual Angle Valve | Manual Gate Valve | Manual Butterfly Valve | Manual Needle Valve | Manual Ball Valve |
| محدوده فشار کاری | mbar1×10⁻⁹ up to 2,000 mbar | mbar1×10⁻⁸ up to 1,000 mbar | mbar1×10⁻⁷ up to 1,500 mbar | mbar1×10⁻¹⁰ up to 1,000 mbar | up to1×10⁻³ (Rough Vacuum) |
| سایز فلنج | DN 16 up to DN 50 (ISO-KF / ISO-F) | DN 63 up to DN 400 (ISO-F, CF) | DN 25 up to DN 200 (KF, ISO) | DN 16–25 KF/ISO یا اتصال رزوهای | DN 10 up to DN 50 (رزوهای یا KF کوچک) |
| جنس بدنه | استنلس استیل یا آلومینیوم | استنلس استیل | استنلس استیل یا آلومینیوم | استنلس استیل | استیل یا برنج با پوشش نیکل |
| جنس بیلوز | استنلس استیل یا دیافراگم با O-Ring Viton | بیلوز فلزی یا O-Ring Viton | O-Ring Viton یا FKM | سوزن استیل + O-Ring Viton | PTFE یا Viton Seat |
| نوع آب بندی | O-Ring Viton / بیلوز | Metal Seal + O-Ring | Elastomer Seal | Needle + O-Ring | Elastomer/PTFE |
| نوع عملگر | دستی (Handwheel) | دستی (Handwheel + Screw) | دستی (Lever Handle) | دستی (Fine Screw) | دستی (Lever Handle) |
| ساختار شیر | زاویهای (Right-Angle) | Gate (کشویی) | پروانهای (Butterfly Disc) | سوزنی (Needle/Leak) | توپی (Ball Valve) |
| دمای کار | 0°C up to +120°C | 20°C up to +150°C- | 0°C up to +120°C | 0°C up to +120°C | 10°C up to +100°C- |
| میزان نشتی | mbar ≤ 1×10⁻⁹ mbar·l/s | mbar ≤ 1×10⁻⁸ mbar·l/s | mbar ≤ 1×10⁻⁷ mbar·l/s | mbar ≤ 1×10⁻¹⁰ mbar·l/s | mbar ≤ 1×10⁻³ mbar·l/s |
| وزن | 0.5up to 2 kg | 8up to 50 kg | 0.3up to 3 kg | 0.5up to 1.5 kg | 0.2up to 1.5 kg |
| زمان باز/بسته شدن | 1-2s~ | 5-15s | فوری (چرخش 90°) | آهسته (تنظیم تدریجی) | فوری (90°) |
| طول عمر بیلوز | 10⁴×5≤ سیکل | 10⁵×1≤ سیکل | 10⁴×5≤ سیکل | 10⁵×1≤ سیکل | 10⁴×5≤ سیکل |
| فشار تفاضلی (Δp) | باز: 0.1bar≥ / بسته: 1bar≥ | باز: 0.1bar≥ / بسته: 1bar≥ | باز / بسته: 1bar≥ | باز: 0.05bar≥ / بسته: 1bar≥ | باز / بسته: 1bar≥ |
| استاندارد | ISO-KF, ISO-F, CE | ISO-F, CF, SEMI, CE | ISO-KF, ISO-F | ISO-KF, CE | Rough Vacuum, ISO-KF کوچک |
| نوع شیر | نحوه عملکرد | محدوده فشار | مزایا |
|---|---|---|---|
| شیر دستی | باز و بستهسازی با دست | تا UHV (با طراحی مناسب) | اقتصادی، ساده، نگهداری آسان |
| شیر برقی | محرک برقی یا سلونوئید | Rough تا HV | قطع و وصل سریع، مناسب اتوماسیون |
| شیر بادی برقی | فرمان الکتریکی + عملگر پنوماتیک | Rough تا UHV | دوام زیاد، سرعت عملکرد عالی |
| شیر بیلوز | آببندی با بیلوز فلزی، دستی/بادی/برقی | HV تا UHV و حتی XHV | آببندی مطمئن، عمر طولانی، مناسب فرآیندهای حساس |