خلأ در لغت به معنی تهی و خالی است ولی در اصطلاح به فضایی می گویند که شامل گازهایی است که فشار آنها زیر اتمسفر است. تکنولوژی خلأ یکی از تکنولوژیهای مادر بوده و هر کشوری برای آنکه بتواند در مسیر صنعتی شدن قدم بردارد ناگزیر به در اختیار داشتن این تکنولوژی به طور کامل می باشد.
کاربردهای بسیار گوناگونی برای خلأ می توان نام برد در بعضی موارد خلأ به طور دائم در قطعه باقی می ماند، از این موارد می توان به لامپ ها، لوله های تخلیه الکتریکی، ماشین های شتاب دهنده، لامپ های اشعه کاتدی ، لامپ های رادیویی و … اشاره کرد. نوع دیگر، سیستم هایی هستند که خلأ تنها برای مدتی معین به منظور انجام فرآیندی به وجود می آید ، مانند لایه نشانی ها در خلأ.
سیستم های خلأ در بسیاری از زمینه های تحقیقاتی و صنعتی مورد استفاده قرار می گیرند و در سال های اخیر تحولات زیادی در این قسمت از علوم آشکار شده است از جمله کاربردهایِ تکنولوژی بالایِ (High Tech) این سیستم ها می توان به موارد زیر اشاره کرد :