خلأ در لغت به معني تهي و خالي است ولي در اصطلاح به فضايي مي گويند که شامل گازهايي است که فشار آنها زير اتمسفر است. تکنولوژي خلأ يکي از تکنولوژيهاي مادر بوده و هر کشوري براي آنکه بتواند در مسير صنعتي شدن قدم بردارد ناگزير به در اختيار داشتن اين تکنولوژي به طور کامل مي باشد.
کاربردهاي بسيار گوناگوني براي خلأ مي توان نام برد در بعضي موارد خلأ به طور دائم در قطعه باقي مي ماند، از اين موارد مي توان به لامپ ها، لوله هاي تخليه الکتريکي، ماشين هاي شتاب دهنده، لامپ هاي اشعه کاتدي ، لامپ هاي راديويي و ... اشاره کرد. نوع ديگر، سيستم هايي هستند که خلأ تنها براي مدتي معين به منظور انجام فرآيندي به وجود مي آيد ، مانند لايه نشاني ها در خلأ.
سيستم هاي خلأ در بسياري از زمينه هاي تحقيقاتي و صنعتي مورد استفاده قرار مي گيرند و در سال هاي اخير تحولات زيادي در اين قسمت از علوم آشکار شده است از جمله کاربردهايِ تکنولوژي بالايِ (High Tech) اين سيستم ها مي توان به موارد زير اشاره کرد :