سنسورهای خازنی وکیوم یا Capacitance Diaphragm Gauges از تجهیزات دقیق اندازهگیری فشار در سیستمهای خلاء هستند. این سنسورها با استفاده از تغییر شکل دیافراگم و تبدیل آن به تغییر ظرفیت الکتریکی، فشار داخل سیستم را با دقت و تکرارپذیری بالا اندازهگیری میکنند.
سنسور خازنی وکیوم با استفاده از یک دیافراگم حساس، فشار واردشده به سیستم را به یک تغییر ظرفیت الکتریکی تبدیل میکند. این روش امکان اندازهگیری پایدار و دقیق فشار را در محدودههای مختلف خلاء فراهم میکند.
یکی از مهمترین ویژگیهای این فناوری، عدم وابستگی مستقیم اندازهگیری به نوع گاز است. به همین دلیل سنسورهای خازنی در بسیاری از فرآیندهایی که ترکیب گاز تغییر میکند، گزینه مناسبی برای اندازهگیری و کنترل فشار هستند.
آشنایی با نحوه عملکرد سنسورهای خازنی در سیستمهای خلاء
سنسور خازنی وکیوم که با نام Capacitance Diaphragm Gauge نیز شناخته میشود، یکی از روشهای دقیق اندازهگیری فشار در سیستمهای خلاء است. در این فناوری، یک دیافراگم حساس بین دو بخش اندازهگیری قرار دارد و با تغییر فشار، مقدار بسیار کمی تغییر شکل میدهد.
این تغییر مکان باعث تغییر ظرفیت الکتریکی سلول اندازهگیری میشود. مدار الکترونیکی سنسور این تغییر را به یک سیگنال متناسب با فشار تبدیل میکند و در اختیار سیستم کنترل یا نمایشگر قرار میدهد.
برخلاف روشهای اندازهگیری مبتنی بر هدایت حرارتی، اندازهگیری خازنی به ویژگیهای حرارتی گاز وابسته نیست. به همین دلیل این فناوری در کاربردهایی که دقت و ثبات اندازهگیری اهمیت دارد، کاربرد گستردهای دارد.
مهمترین ویژگیهایی که هنگام انتخاب سنسور خازنی وکیوم باید بررسی شوند
| ویژگی | مشخصات عمومی |
|---|---|
| نوع سنجش | Capacitance Diaphragm Gauge (CDG) |
| اصل اندازهگیری | تغییر ظرفیت الکتریکی ناشی از تغییر شکل دیافراگم |
| وابستگی به نوع گاز | مستقل از نوع گاز |
| پارامتر اندازهگیری | فشار مطلق |
| دقت اندازهگیری | بالا؛ بسته به مدل و محدوده اندازهگیری |
| تکرارپذیری | بالا و پایدار در شرایط کاری مناسب |
| محدوده اندازهگیری | بسته به محدوده Full Scale سنسور |
| خروجی | معمولاً آنالوگ؛ برخی مدلها دارای خروجی دیجیتال نیز هستند |
| نوع دیافراگم | بسته به طراحی سنسور؛ در برخی مدلها از آلیاژهای مقاوم به خوردگی استفاده میشود |
| پاسخدهی | مناسب برای پایش و کنترل فشار |
| کاربرد | اندازهگیری، پایش و کنترل فشار در سیستمهای خلاء |
| سیستمهای کنترل خلاء | اندازهگیری دقیق فشار و استفاده در حلقههای کنترل |
| فرآیندهای صنعتی | پایش و کنترل فشار در تجهیزات و فرآیندهای خلاء |
| صنایع نیمههادی | اندازهگیری دقیق فشار در فرآیندهای حساس |
| فرآیندهای شیمیایی | استفاده از نسخههای مناسب در محیطهای دارای گازهای خورنده |
| تجهیزات آزمایشگاهی و تحقیقاتی | اندازهگیری و پایش دقیق فشار در سیستمهای خلاء |
| سیستمهای کنترل فرآیند | ارسال سیگنال اندازهگیری به کنترلرها و تجهیزات مانیتورینگ |
هر دو فناوری برای اندازهگیری فشار در سیستمهای خلاء استفاده میشوند، اما روش عملکرد و ویژگیهای اندازهگیری آنها متفاوت است.
| ویژگی | سنسور خازنی | سنسور پیرانی |
|---|---|---|
| اصل اندازهگیری | تغییر ظرفیت الکتریکی دیافراگم | هدایت حرارتی گاز |
| وابستگی به نوع گاز | ندارد | دارد |
| دقت اندازهگیری | معمولاً بالاتر | وابسته به شرایط و نوع گاز |
| اندازهگیری فشار | اندازهگیری مستقیم فشار | اندازهگیری غیرمستقیم بر اساس انتقال حرارت |
| تأثیر تغییر گاز | بسیار کم | قابل توجه |
| کاربرد مناسب | اندازهگیری دقیق و کنترل فشار | پایش عمومی و اندازهگیری خلاء |
| انتخاب برای فرآیندهای حساس | مناسب در صورت انتخاب مدل متناسب با فرآیند | وابسته به شرایط فرآیند و ترکیب گاز |
محدوده فشار، Full Scale، نوع اتصال، خروجی و شرایط فرآیند از مهمترین مواردی هستند که باید هنگام انتخاب سنسور خازنی در نظر گرفته شوند. برای بررسی گزینه مناسب میتوانید با کارشناسان وکشاپ در ارتباط باشید.
مشاوره و انتخاب سنسور