پمپ دیفیوژن (Diffusion Vacuum Pump) با استفاده از بخار روغن یا فلز، گازها را به سمت خروجی هدایت کرده و خلاء بسیار بالا ایجاد میکند. این پمپها فاقد قطعات متحرک هستند.
عملکرد بدون قطعات متحرک
مناسب برای خلاء نهایی بسیار بالا
نیاز به پمپ پشتیبان (روتاری یا روتس)
